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潔淨室的常見的幾種氣流方式

2016-05-25 15:55:30   作者:kewatt  出处:科瓦特


層流式:層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,並由高
架地板或兩側隔板回風,此型式適用于潔淨室等級需定較高之環境使用,一般其潔淨室等級爲
CLASS1-100。其型式可分爲二種:

                                       洁净室气流组织示意图
水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,
一般在下流側汙染較嚴重。

                     水平层流洁净室图
垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔淨度,在制程中
或工作人員所産生的塵埃可快速排出室外而不會影響其他工作區域。


                          垂直层流洁净室
亂流式:空氣由空調箱經風管與潔淨室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔淨室,並由潔淨室兩側隔間
牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔淨室等級
1000-100,000級。

                                       乱流洁净室示意图
複合式:複合式爲將亂流式及層流式予以符合或並用,可提供局部超潔淨之空氣。我們也稱之爲非單向流。